經過幾個月的艱苦奮戰,近日,我司承接的通威集團旗下永祥能源科技公司年產1500噸硅烷氣EPC裝置順利中交。
硅烷氣作為一種載運硅組分的氣體源,因為它純度高和能實現精細控制,已成為許多其他硅源無法取代的重要特殊氣體。國內硅烷氣體主要用于太陽能電池中氮化硅減少反射膜制備、面板顯示中氮化硅絕緣保護膜和非晶硅層膜,集成電路中外延硅沉積、氧化硅膜沉積和氮化硅膜沉積,是面板顯示和半導體行業非常重要的特氣之一。
近年來,硅烷氣的新型應用領域不斷的涌現,尤其是硅基負極材料行業。硅基負極材料具有理論容量高、首次充放效率高、工藝成本低等優勢,是下一代負極材料的重要發展方向。 經過緊張的開車前工作部署,永祥能源科技公司1500噸硅烷氣項目一次性進料開車成功,在此熱烈祝賀!